PFA Cassette

鐵氟龍卡匣為承載半導體晶圓片的容器，可依照客戶需求設計，耐高溫200~220℃，適合使用在需耐高溫條件下防粘和耐化學性領域，例如強酸、強氟酸、強鹼，應用於FABRICATION廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。

4" PFA Cassette

承載容量 : 25 pcs

產品尺寸 : 142.2(L) x 125.4(W) x 114.3(H)mm

5" PFA Cassette

承載容量 : 25 pcs

產品尺寸 : 152.4(L) x 142.8(W) x 146(H)mm

5.2" PFA Cassette

承載容量 : 25 pcs

產品尺寸 : 163(L) x 142.3(W) x 151(H)mm

6" PFA Cassette

承載容量 : 25 pcs

產品尺寸 : 143.3(L) x 177.8(W) x 171.4(H)mm

8" PFA Cassette(高版)
承載容量 : 25 pcs

產品尺寸 : 203(L) x 233(W) x 218(H)mm

8" PFA Cassette(矮版)

承載容量 : 25 pcs

產品尺寸 : 234(L) x 220(W) x 159(H)mm

Handle

進入化學酸、鹼蝕刻製程中，鐵氟龍晶舟盒需要靠手把夾持