具備Class 1無塵室來進行晶圓載具洗淨包裝作業

結合智慧設計、大數據、製程技術改善，來提升產品效能

 每年可減少約近億個載具廢棄量及80%塑膠原料使用量
，將無法繼續使用的晶圓載具透過回收利用再製

使用循環洗淨作業模式，可節約用水達生產70%以上